เซมิคอนดักเตอร์
งานวิเคราะห์ทางกายภาพ
วิเคราะห์ความเรียบของพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์
- ประเภทของตัวอย่าง : ของแข็ง เช่น ฟิล์ม แผ่นโลหะ CD DVD
– ฐานรองรับตัวอย่างมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2 cm
• การเตรียมตัวอย่าง : ลักษณะพื้นผิวต้องค่อนข้างเรียบ
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Raw File (.wsf)
2. รูปภาพ 2 มิติ (.png)
3. รูปภาพ 3 มิติ (.png)
4. ค่า Statistical Quantities เช่น Roughness (.txt)
5. อื่น ๆ
ความสูงของฟิล์มบาง
- ประเภทของตัวอย่าง : ของแข็ง เช่น ฟิล์ม แผ่นโลหะ CD DVD
– ฐานรองรับตัวอย่างมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2 cm
• การเตรียมตัวอย่าง : ลักษณะพื้นผิวต้องค่อนข้างเรียบ
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Raw File (.wsf)
2. รูปภาพ 2 มิติ (.png)
3. รูปภาพ 3 มิติ (.png)
4. ค่า Statistical Quantities เช่น Roughness (.txt)
5. อื่น ๆ
วิเคราะห์โครงสร้างนาโน
- ประเภทของตัวอย่าง : ของแข็ง เช่น ฟิล์ม แผ่นโลหะ CD DVD
– ฐานรองรับตัวอย่างมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2 cm
• การเตรียมตัวอย่าง : ลักษณะพื้นผิวต้องค่อนข้างเรียบ
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Raw File (.wsf)
2. รูปภาพ 2 มิติ (.png)
3. รูปภาพ 3 มิติ (.png)
4. ค่า Statistical Quantities เช่น Roughness (.txt)
5. อื่น ๆ
ความสมบูรณ์ของลวดลายและขนาดของฟีเจอร์
- ประเภทของตัวอย่าง : ของแข็ง เช่น ฟิล์ม แผ่นโลหะ CD DVD
– ฐานรองรับตัวอย่างมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2 cm
• การเตรียมตัวอย่าง : ลักษณะพื้นผิวต้องค่อนข้างเรียบ
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Raw File (.wsf)
2. รูปภาพ 2 มิติ (.png)
3. รูปภาพ 3 มิติ (.png)
4. ค่า Statistical Quantities เช่น Roughness (.txt)
5. อื่น ๆ
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
งานวิเคราะห์ทางกายภาพ (เพิ่มเติม)
ทดสอบความแข็งของชิ้นงาน/ทดสอบความแข็งของชั้นเคลือบ
- การเตรียมตัวอย่าง :
1. ของแข็ง ผิวหน้าเรียบ มีความหนาเท่ากันทั้งชิ้นงาน - ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. รูปรอยกดของตัวอย่าง
2. ไฟล์ข้อมูล MS Word และ PDF
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
ทดสอบความแข็งของชิ้นงาน/ทดสอบความแข็งของชั้นเคลือบ
- การเตรียมตัวอย่าง :
1. ของแข็ง ผิวหน้าเรียบ มีความหนาเท่ากันทั้งชิ้นงาน - ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. รูปรอยกดของตัวอย่าง
2. ไฟล์ข้อมูล MS Word และ PDF
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
วิเคราะห์พื้นที่ผิว/ขนาดของรูพรุน/ปริมาตรรูพรุน/การแทรกซึมของก๊าซ
- ประเภทของตัวอย่าง : ของแข็ง
เช่น ผง และชิ้นงานขนาดเล็ก
(ใส่ใน Cell ที่มี่ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 และ 9 mm ได้)
• การเตรียมตัวอย่าง : บรรจุใส่ภาชนะ
เช่น ถุงซิป ขวดเก็บสาร
(กรณีตัวอย่างต้องดูแลหรือเก็บรักษาเป็นพิเศษ
โปรดระบุข้อควรระวังและรูปแบบการเก็บโดยละเอียด)
• ปริมาณตัวอย่างที่ใช้ในการทดสอบ : 0.2 – 0.5 g
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Pore Size
2. BJH Pore Size Distribution Adsorption
3. BJH Pore Size Distribution Desorption
4. DFT method Pore Size Distribution
5. Isotherm
6. Surface Area (Multi-Point BET)
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
- เครื่องวิเคราะห์พื้นที่ผิวและรูพรุน
วิเคราะห์โครงสร้างผลึก/การวัดค่า Lattice Constants/ตรวจสอบความเป็นระเบียบของโครงสร้างผลึก/เฟสของวัสดุ
- โหมดการทดสอบ :
1. Out of plane
2. In-plane
3. Grazing incidence
4. In-situ temperature
• การเตรียมตัวอย่าง :
1. ผงละเอียด โดยผ่านการบดมาแล้ว ซึ่งจะเตรียมใน Sample holder ที่มีขนาด 20 mm x 20 mm x 0.5 mm
2. ของแข็ง ผิวหน้าเรียบและหนาทั่วกันทั้งหน้า มีความหนาไม่เกิน 18 mm.
3. ฟิล์มบาง มีความหนาไม่เกิน 18 mm.
• การเตรียมตัวอย่างสำหรับโหมด In-Situ Temperature :
1. ของแข็ง เช่น Pellet, Thin film หรืออื่นๆ ที่ผิวหน้าเรียบและหนาทั่วกันทั้งหน้า มีความหนาไม่เกิน 2 mm. และเส้นผ่านศูนย์กลางไม่เกิน 29 mm.
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. กราฟผลการทดสอบ (ไฟล์ Word)
2. ไฟล์ข้อมูล
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Pore Size
2. BJH Pore Size Distribution Adsorption
3. BJH Pore Size Distribution Desorption
4. DFT method Pore Size Distribution
5. Isotherm
6. Surface Area (Multi-Point BET)
วิเคราะห์โครงสร้างผลึก/การวัดค่า Lattice Constants/ตรวจสอบความเป็นระเบียบของโครงสร้างผลึก/เฟสของวัสดุ
- โหมดการทดสอบ :
1. Out of plane
2. In-plane
3. Grazing incidence
4. In-situ temperature
• การเตรียมตัวอย่าง :
1. ผงละเอียด โดยผ่านการบดมาแล้ว ซึ่งจะเตรียมใน Sample holder ที่มีขนาด 20 mm x 20 mm x 0.5 mm
2. ของแข็ง ผิวหน้าเรียบและหนาทั่วกันทั้งหน้า มีความหนาไม่เกิน 18 mm.
3. ฟิล์มบาง มีความหนาไม่เกิน 18 mm.
• การเตรียมตัวอย่างสำหรับโหมด In-Situ Temperature :
1. ของแข็ง เช่น Pellet, Thin film หรืออื่นๆ ที่ผิวหน้าเรียบและหนาทั่วกันทั้งหน้า มีความหนาไม่เกิน 2 mm. และเส้นผ่านศูนย์กลางไม่เกิน 29 mm.
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. กราฟผลการทดสอบ (ไฟล์ Word)
2. ไฟล์ข้อมูล
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Pore Size
2. BJH Pore Size Distribution Adsorption
3. BJH Pore Size Distribution Desorption
4. DFT method Pore Size Distribution
5. Isotherm
6. Surface Area (Multi-Point BET)
- โหมดการทดสอบ :
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
งานทดสอบทางไฟฟ้า
ความสามารถในการนำไฟฟ้า
- ประเภทของตัวอย่าง : ของแข็ง เช่น ฟิล์ม แผ่นโลหะ CD DVD
– ฐานรองรับตัวอย่างมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2 cm
• การเตรียมตัวอย่าง : ลักษณะพื้นผิวต้องค่อนข้างเรียบ
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Raw File (.wsf)
2. รูปภาพ 2 มิติ (.png)
3. รูปภาพ 3 มิติ (.png)
4. ค่า Statistical Quantities เช่น Roughness (.txt)
5. อื่น ๆ
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
งานวิเคราะห์ทางความร้อน
จุดหลอมเหลว / วิเคราะห์ความเสถียรทางความร้อน / การวิเคราะห์การสูญเสียมวลจากการระเหย
- ประเภทการวัด :
1. Specific Heat (Cp)
2. Melting temperature (Tm)
3. Transition enthalpies (ΔH)
4. Crystallisation temperature (Tc)
5. Glass transition temperature (Tg)
• การเตรียมตัวอย่าง :
1. ของแข็งและของเหลว น้ำหนักอย่างน้อย 5 mg หรือปริมาตรครึ่งนึงของ Crucible (12.5 μl)
2. ตัวอย่างต้องไม่เผาไหม้ในช่วงอุณหภูมิที่ทดสอบ
• ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. กราฟผลการทดสอบ
2. ไฟล์ข้อมูล Excel
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
งานทดสอบสมบัติทางแสง
การวัดการสะท้อน (Reflectance)/การวิเคราะห์การส่องผ่านแสง (Transmittance)
ชนิดของแข็ง :
1. Transmittance หรือ Absorbance
– wavelength Range 190 – 2,600 nm
– ตัวอย่างควรให้แสงทะลุผ่านได้ ขนาดมากกว่า 5 x 5 mm หนาไม่เกิน 10 mm
2. Reflectance
– wavelength Range 240 – 2,600 nm
– ของแข็ง/ฟิล์ม ตัวอย่างต้องมีผิวเรียบ ขนาดมากกว่า 20 x 20 mm หนาไม่เกิน 5 mm
– ผง ควรกดอัดเป็นก้อนได้ มากกว่า 2 g สามารถล้างได้ด้วยน้ำ/เอทานอล
• ชนิดของเหลว :
1. Transmittance หรือ Absorbance เท่านั้น
– wavelength Range 185 – 3,300 nm
– ตัวอย่างสารเนื้อเดียว แสงทะลุผ่านได้ มีปริมาตรมากกว่า 3.5 ml
การวัดการดูดซับแสง/การวิเคราะห์การดูดซับแสงอินฟราเรด
- ชนิดของแข็ง :
1. Transmittance หรือ Absorbance
– wavelength Range 190 – 2,600 nm
– ตัวอย่างควรให้แสงทะลุผ่านได้ ขนาดมากกว่า 5 x 5 mm หนาไม่เกิน 10 mm
2. Reflectance
– wavelength Range 240 – 2,600 nm
– ของแข็ง/ฟิล์ม ตัวอย่างต้องมีผิวเรียบ ขนาดมากกว่า 20 x 20 mm หนาไม่เกิน 5 mm
– ผง ควรกดอัดเป็นก้อนได้ มากกว่า 2 g สามารถล้างได้ด้วยน้ำ/เอทานอล
• ชนิดของเหลว :
1. Transmittance หรือ Absorbance เท่านั้น
– wavelength Range 185 – 3,300 nm
– ตัวอย่างสารเนื้อเดียว แสงทะลุผ่านได้ มีปริมาตรมากกว่า 3.5 ml
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
การวัดการดูดซับแสง/การวิเคราะห์การดูดซับแสงอินฟราเรด
- • โหมดการวิเคราะห์ : Excitation, Emission และ synchronous
• ประเภทของตัวอย่าง :
– ตัวอย่างวัตถุ/ฟิล์ม : วัสดุหรือของแข็งยอมให้แสงทะลุผ่าน หนาไม่เกิน 5 mm ขนาดไม่เกิน 10 x 15 cm และไม่น้อยกว่า 5 x 5 mm
– ตัวอย่างของหลว : สารตัวอย่างควรมีปริมาตร 3.5 ml สามารถใส่ในคิวเวทท์ใส 4 ด้าน ขนาด 10 x 10 mm
– ตัวอย่างผง : เป็นผงละเอียดปริมาณเพียงพอต่อการกดอัดบน Powder Holder ลึก 2 mm ขนาด 5 x 10 mm
เครื่องมือวิเคราะห์ทดสอบ
งานทดสอบสมบัติทางแสง (เพิ่มเติม)
การวัดการดูดซับแสง / การวิเคราะห์การดูดซับแสงอินฟราเรด / การสร้างแสงฟลูออเรสเซนซ์ในวัสดุ
- ชนิดของแข็ง :
1. Transmittance หรือ Absorbance
– wavelength Range 190 – 2,600 nm
– ตัวอย่างควรให้แสงทะลุผ่านได้ ขนาดมากกว่า 5 x 5 mm หนาไม่เกิน 10 mm
2. Reflectance
– wavelength Range 240 – 2,600 nm
– ของแข็ง/ฟิล์ม ตัวอย่างต้องมีผิวเรียบ ขนาดมากกว่า 20 x 20 mm หนาไม่เกิน 5 mm
– ผง ควรกดอัดเป็นก้อนได้ มากกว่า 2 g สามารถล้างได้ด้วยน้ำ/เอทานอล
• ชนิดของเหลว :
1. Transmittance หรือ Absorbance เท่านั้น
– wavelength Range 185 – 3,300 nm
– ตัวอย่างสารเนื้อเดียว แสงทะลุผ่านได้ มีปริมาตรมากกว่า 3.5 ml