FEI

– วิเคราะห์โครงสร้างพื้นผิววัตถุขนาดเล็กในระดับไมโครเมตร
– ทั้งทางกายภาพและชีวภาพ แต่ต้องไม่มีน้ำมันเป็นส่วนประกอบ และไม่มีความเป็นแม่เหล็ก
– ชนิดชิ้นงานขนาดไม่เกิน 1x1x1 เซนติเมตร
ชนิดผง น้ำหนักไม่น้อยกว่า 0.5 กรัม